研究室NEWS:

・新しい有機EL素子作製用成膜装置が稼働開始!
・有機EL用低ダメージスパッタ成膜法を開発!

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Thin Film Devices Lab.

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東京工芸大学工学部 電子機械学科 薄膜デバイス研究室 のホームページへようこそ



薄膜デバイス研究室では、独自のスパッタ成膜技術を
駆使した”ものつくり”を探求しています。

私達の身の回りにある携帯電話、パソコン、薄型テレビ、ファミコン、デジカメなどの電子機器は薄膜技術を駆使して作られています。薄膜技術は原子を堆積させて必要とする機能を持った物質を作り出すとともに、それらを微細加工して機能性素子を作り出す技術です。私達の研究室では、次世代のディスプレイや磁気記録、光触媒などに活用するための新しい薄膜の作製技術を開発するための研究に取り組んでいます。













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Last Update:May.10,2012
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